当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线,这种X射线随着试样中不同的化学组成(原子类别)特征而具有不同的能量(波长)。每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量。能谱分析的特点:无损伤分析,分析速度快。